ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ, ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ದ್ರವ ಸಾರಜನಕ ಅಥವಾ ಆರ್ಗಾನ್ ಅನ್ನು ಒಂದು ಹಂತದಿಂದ ಇನ್ನೊಂದಕ್ಕೆ ವರ್ಗಾಯಿಸುವುದಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನದನ್ನು ಮಾಡುತ್ತವೆ ಎಂದು ನಿರೀಕ್ಷಿಸಲಾಗಿದೆ. ದ್ರವವು ಸ್ಥಿರವಾಗಿರಬೇಕು, ಸ್ವಚ್ಛವಾಗಿರಬೇಕು ಮತ್ತು ಬಳಕೆಯ ಹಂತದವರೆಗೆ ಏಕ-ಹಂತವಾಗಿರಬೇಕು. ಸಣ್ಣ ಪ್ರಮಾಣದ ಶಾಖದ ಪ್ರವೇಶವು ಸಹ ಫ್ಲ್ಯಾಷ್ ಅನಿಲ, ಒತ್ತಡದ ಏರಿಳಿತ ಅಥವಾ ತೇವಾಂಶ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು, ಇದು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.

ಅದಕ್ಕಾಗಿಯೇನಿರ್ವಾತ ನಿರೋಧಕ ಪೈಪ್ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಫೋಮ್-ಇನ್ಸುಲೇಟೆಡ್ ಪೈಪಿಂಗ್ ಬದಲಿಗೆ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಫ್ಯಾಬ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸರಿಯಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸಲಾದ ಪೈಪ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸಿದಾಗಡೈನಾಮಿಕ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ ಸಿಸ್ಟಮ್, ಸಂಪೂರ್ಣ ವರ್ಗಾವಣೆ ರೇಖೆಯಾದ್ಯಂತ ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ನಿರ್ವಾತ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳುವಾಗ ಒಟ್ಟಾರೆ ಶಾಖ ಸೋರಿಕೆ 3 W/m ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಉಳಿಯಬಹುದು.

ಅರೆವಾಹಕ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ, ನಿರ್ವಾತ ನಿರೋಧನವನ್ನು ಪೈಪ್ ಸುತ್ತಲೂ ನಿಷ್ಕ್ರಿಯ ಪದರವಾಗಿ ನೋಡಬಾರದು. ಇದು ಸಕ್ರಿಯ ಉಷ್ಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಿದ್ದು, ಅಳೆಯಬಹುದಾದ ನಿರ್ವಾತ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ನಿರ್ವಹಣೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ, ದ್ರವ ಸ್ಯಾಚುರೇಶನ್ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸ್ವಲ್ಪ ಹೆಚ್ಚಳವು ಎರಡು-ಹಂತದ ಹರಿವಿನ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ಅದು ತಂಪಾಗಿಸುವ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳು, ಶುದ್ಧೀಕರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಅಥವಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣ ಸಾಧನಗಳೊಂದಿಗೆ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಶಾಖ ಸೋರಿಕೆ ಏಕೆ ಮುಖ್ಯ?

ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ರೇಖೆಯು ಮೂರು ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಶಾಖ ವರ್ಗಾವಣೆಯಿಂದ ಪ್ರಭಾವಿತವಾಗಿರುತ್ತದೆ:

• ವೃತ್ತಾಕಾರದ ಜಾಗದಾದ್ಯಂತ ವಿಕಿರಣ
• ಉಳಿದ ಅಣುಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಅನಿಲ ವಹನ
• ಆಧಾರಗಳು ಮತ್ತು ಸ್ಪೇಸರ್‌ಗಳ ಮೂಲಕ ಘನ ವಹನ

ಸರಿಯಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ರೀತಿಯಲ್ಲಿನಿರ್ವಾತ ನಿರೋಧಕ ಪೈಪ್, ವಾರ್ಷಿಕ ಒತ್ತಡವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 1×10⁻⁴ Pa ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿರುತ್ತದೆ. ಆ ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ, ಉಳಿದ ಅನಿಲ ಅಣುಗಳು ವಾರ್ಷಿಕ ಅಂತರಕ್ಕಿಂತ ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ದೊಡ್ಡದಾದ ಸರಾಸರಿ ಮುಕ್ತ ಮಾರ್ಗವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ, ಇದು ಅನಿಲ ಶಾಖ ವಹನವನ್ನು ಬಹಳವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ವಿಕಿರಣ ಶಾಖ ವರ್ಗಾವಣೆಯನ್ನು ಬಹು-ಪದರದ ನಿರೋಧನ (MLI) ಬಳಸಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ನಿರೋಧನವು ಪ್ರತಿಫಲಿತ ಫಾಯಿಲ್ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ-ವಾಹಕತೆಯ ಸ್ಪೇಸರ್ ವಸ್ತುಗಳ ಪರ್ಯಾಯ ಪದರಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ. ಸರಿಯಾದ ಪದರ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಅನುಸ್ಥಾಪನಾ ವಿಧಾನದೊಂದಿಗೆ, ವಿಕಿರಣ ಶಾಖದ ಹರಿವನ್ನು ಪ್ರತಿ ಚದರ ಮೀಟರ್‌ಗೆ ಕೆಲವೇ ವ್ಯಾಟ್‌ಗಳಿಗೆ ಇಳಿಸಬಹುದು.

ಉಳಿದ ಉಷ್ಣ ಮಾರ್ಗವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಆಧಾರಗಳಿಂದ ಬರುತ್ತದೆ. ಈ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು, G-10 ಫೈಬರ್‌ಗ್ಲಾಸ್ ಅಥವಾ ಟೊರ್ಲಾನ್® ನಂತಹ ಕಡಿಮೆ-ವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಉಷ್ಣ ಸಂಕೋಚನ, ಕಂಪನ ಮತ್ತು ಭೂಕಂಪನದ ಹೊರೆಗಳನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಲು ಈ ಆಧಾರಗಳಿಗೆ ಇನ್ನೂ ಸಾಕಷ್ಟು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿಯ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.

ದೀರ್ಘ ವರ್ಗಾವಣೆ ಅಂತರಗಳಲ್ಲಿ, ನಿರ್ವಾತ ನಿರೋಧನ ಮತ್ತು ಫೋಮ್ ನಿರೋಧನದ ನಡುವಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸವು ಬಹಳ ಗಮನಾರ್ಹವಾಗುತ್ತದೆ. ಉತ್ತಮವಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಹಲವು ವರ್ಷಗಳವರೆಗೆ ಸ್ಥಿರವಾದ ಉಷ್ಣ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು, ಆದರೆ ಫೋಮ್ ನಿರೋಧನವು ವಾತಾವರಣದಿಂದ ತೇವಾಂಶವನ್ನು ಕ್ರಮೇಣ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ತೇವಾಂಶವು ನಿರೋಧನ ರಚನೆಯನ್ನು ಪ್ರವೇಶಿಸಿ ಹೆಪ್ಪುಗಟ್ಟಿದ ನಂತರ, ಉಷ್ಣ ದಕ್ಷತೆಯು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕಾಲಾನಂತರದಲ್ಲಿ ಕುಸಿಯುತ್ತದೆ.

ಪ್ರಾಯೋಗಿಕ ಅರೆವಾಹಕ LN₂ ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ,ನಿರ್ವಾತ-ನಿರೋಧಕ ಕೊಳವೆಗಳುಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಫೋಮ್-ಇನ್ಸುಲೇಟೆಡ್ ಲೈನ್‌ಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ದೀರ್ಘ ಹೊರಾಂಗಣ ರನ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ನಿರಂತರವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವ ಮುಖ್ಯ ಹೆಡರ್‌ಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಕುದಿಯುವಿಕೆಯನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬಹುದು.

ಡೈನಾಮಿಕ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ ಸಿಸ್ಟಮ್

ಸ್ಥಿರ ನಿರ್ವಾತ ಜಾಕೆಟ್‌ಗಳೊಂದಿಗಿನ ಒಂದು ಸಮಸ್ಯೆಯೆಂದರೆ, ನಿರ್ವಾತದ ಗುಣಮಟ್ಟವು ವರ್ಷಗಳಲ್ಲಿ ಅನಿಲ ಸೋರಿಕೆ, ಹೀಲಿಯಂ ಪ್ರವೇಶಸಾಧ್ಯತೆ ಅಥವಾ ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕ ಸೋರಿಕೆಯಿಂದಾಗಿ ನಿಧಾನವಾಗಿ ಕ್ಷೀಣಿಸಬಹುದು.

ಇದನ್ನು ಪರಿಹರಿಸಲು, ದೊಡ್ಡ ವ್ಯಾಸದನಿರ್ವಾತ ನಿರೋಧಕ ಪೈಪ್ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ಒಂದು ಜೊತೆ ಸಜ್ಜುಗೊಳಿಸಬಹುದು.ಡೈನಾಮಿಕ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ಈ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸಾಂದ್ರೀಕೃತ ಟರ್ಬೊಮಾಲಿಕ್ಯುಲರ್ ಅಥವಾ ಸ್ಕ್ರಾಲ್ ಪಂಪ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ನಿಯತಕಾಲಿಕವಾಗಿ ವಾರ್ಷಿಕ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ಅದರ ಮೂಲ ವಿನ್ಯಾಸ ಸ್ಥಿತಿಗೆ ಪುನಃಸ್ಥಾಪಿಸುತ್ತದೆ.

ಕೋಲ್ಡ್-ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಗೇಜ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟವನ್ನು ನಿರಂತರವಾಗಿ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಒತ್ತಡವು ಗುರಿ ನಿಗದಿಪಡಿಸಿದ ಬಿಂದುವನ್ನು ಮೀರಿ ಹೆಚ್ಚಾದಾಗ ಮಾತ್ರ ಪಂಪ್ ಸಕ್ರಿಯಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ವಿದ್ಯುತ್ ಬಳಕೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣಾ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಇರುತ್ತವೆ.

ತೈವಾನ್‌ನ ಹ್ಸಿಂಚುವಿನಲ್ಲಿ ನಡೆದ ಒಂದು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸೌಲಭ್ಯದ ಅಪ್‌ಗ್ರೇಡ್ ಯೋಜನೆಯಲ್ಲಿ, ಸಕ್ರಿಯವಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸಲಾದ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ವಯಸ್ಸಾದ LN₂ ವರ್ಗಾವಣೆ ಹೆಡರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಮಾರ್ಗವನ್ನು ಸ್ಥಗಿತಗೊಳಿಸದೆ ಅದರ ಮೂಲ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ಸ್ಥಿತಿಗೆ ಹತ್ತಿರವಿರುವ ಉಷ್ಣ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಚೇತರಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಅವಕಾಶ ಮಾಡಿಕೊಟ್ಟಿತು. ಹೊಸ ಯೋಜನೆಗಳಿಗೆ, ಸಕ್ರಿಯ ನಿರ್ವಾತ ನಿರ್ವಹಣೆಯು ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಸೇವಾ ಜೀವನದುದ್ದಕ್ಕೂ ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ನಿರೋಧನ ಸ್ಥಿರತೆಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಾಹಕರಿಗೆ ಉತ್ತಮ ವಿಶ್ವಾಸವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.

ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು ಮತ್ತು ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ವಿನ್ಯಾಸ

ಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು ಅತಿ-ಹೆಚ್ಚಿನ-ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗಾಗಿ, ಒಳಗಿನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪೈಪ್ ಅನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 304L ಅಥವಾ 316L ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್‌ನಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಆಮ್ಲಜನಕ-ಶುದ್ಧ ಸೇವಾ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯದ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಆಂತರಿಕ ಮೇಲ್ಮೈಗಳನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಶುದ್ಧೀಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಿಷ್ಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಅನುಸ್ಥಾಪನೆಯ ಪರಿಸರವನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿ ಹೊರಗಿನ ಜಾಕೆಟ್ ಬಣ್ಣ ಬಳಿದ ಕಾರ್ಬನ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಅಥವಾ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು. ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್ ಪಕ್ಕದ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿ, ತುಕ್ಕು ಅಥವಾ ಮೇಲ್ಮೈ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಹೊರಗಿನ ಜಾಕೆಟ್‌ಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಆದ್ಯತೆ ನೀಡಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಉಷ್ಣ ಸಂಕೋಚನವನ್ನು ಸಹ ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ಪರಿಗಣಿಸಬೇಕಾಗಿದೆ. LN₂ ವರ್ಗಾವಣೆ ರೇಖೆಯು ಸುತ್ತುವರಿದ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ತಾಪಮಾನದ ನಡುವೆ ಪ್ರತಿ ಮೀಟರ್‌ಗೆ ಸರಿಸುಮಾರು 2.5–3 ಮಿಮೀ ಸಂಕುಚಿತಗೊಳ್ಳಬಹುದು. ಈ ಚಲನೆಯನ್ನು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳಲು, ಬೆಲ್ಲೋಸ್-ಟೈಪ್ ಎಕ್ಸ್‌ಪಾನ್ಸೆಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪೈಪಿಂಗ್ ನೆಟ್‌ವರ್ಕ್‌ನಾದ್ಯಂತ ಲೆಕ್ಕಹಾಕಿದ ಆಂಕರ್ ಸ್ಥಳಗಳಲ್ಲಿ ಸ್ಥಾಪಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಚಲನೆ ಅಥವಾ ನಮ್ಯತೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವಲ್ಲಿ,ನಿರ್ವಾತ ನಿರೋಧಕ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಮೆದುಗೊಳವೆಅಸೆಂಬ್ಲಿಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ವಿಶಿಷ್ಟ ಸ್ಥಳಗಳಲ್ಲಿ ಟ್ಯಾಂಕ್ ಸಂಪರ್ಕಗಳು, ಸಲಕರಣೆಗಳ ಹುಕ್-ಅಪ್‌ಗಳು, ಮ್ಯಾನಿಫೋಲ್ಡ್ ಶಾಖೆಗಳು ಮತ್ತು ಮೊಬೈಲ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಸ್ಕಿಡ್‌ಗಳು ಸೇರಿವೆ.

ಈ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಮೆದುಗೊಳವೆಗಳು ಸುಕ್ಕುಗಟ್ಟಿದ ಒಳಗಿನ ಕೋರ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಜಾಕೆಟ್ ಮತ್ತು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ನಿರ್ವಾತ ಪೈಪ್‌ನಂತೆಯೇ MLI ರಚನೆಯೊಂದಿಗೆ ಬಳಸುತ್ತವೆ. ಸರಿಯಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಅಸೆಂಬ್ಲಿಗಳು ಪುನರಾವರ್ತಿತ ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ಥರ್ಮಲ್ ಸೈಕ್ಲಿಂಗ್ ನಂತರ ನಿರ್ವಾತ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು ಮತ್ತು ಇನ್ಸುಲೇಟೆಡ್ ಅಲ್ಲದ ಹೆಣೆಯಲ್ಪಟ್ಟ ಮೆದುಗೊಳವೆಗಳಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕಂಡುಬರುವ ಬಾಹ್ಯ ಐಸ್ ರಚನೆಯನ್ನು ತಡೆಯಬಹುದು.

ನಿರ್ವಾತ ನಿರೋಧಕ ಕವಾಟಗಳುಮತ್ತುಹಂತ ವಿಭಜಕಗಳು

ಶಾಖ ಸೋರಿಕೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು ನೇರ ಪೈಪ್ ವಿಭಾಗಗಳಿಗೆ ಸೀಮಿತವಾಗಿಲ್ಲ. ಕವಾಟಗಳು ಮತ್ತುಹಂತ ವಿಭಜಕಗಳುಸ್ಥಿರವಾದ ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ಹರಿವಿನ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳುವಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರ ವಹಿಸುತ್ತವೆ.

A ನಿರ್ವಾತ ನಿರೋಧಕ ಕವಾಟನಿರ್ಣಾಯಕ ಸೀಲಿಂಗ್ ಪ್ರದೇಶಗಳನ್ನು ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ತಾಪಮಾನದಿಂದ ದೂರವಿರಿಸಲು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ವಿಸ್ತೃತ ಬಾನೆಟ್ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ-ಜಾಕೆಟೆಡ್ ಬಾಡಿಯನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ. ಇದು ಕಾಂಡ ಪ್ಯಾಕಿಂಗ್ ಸುತ್ತಲೂ ಘನೀಕರಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ತಡೆಯಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕವಾಟ ರಚನೆಯೊಳಗೆ ಅನಗತ್ಯ ಸಾಂದ್ರೀಕರಣವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ನಿರ್ವಾತ ನಿರೋಧನವಿಲ್ಲದೆ, ಕವಾಟಗಳು ವ್ಯವಸ್ಥೆಯೊಳಗೆ ಕೇಂದ್ರೀಕೃತ ಶಾಖ-ಸೋರಿಕೆ ಬಿಂದುಗಳಾಗಿ ಪರಿಣಮಿಸಬಹುದು. ದ್ರವ ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ಸೇವೆಯಲ್ಲಿ, ಇದು ಸ್ಥಳೀಯ ಆವಿ ಪಾಕೆಟ್‌ಗಳು, ಅಸ್ಥಿರ ಹರಿವಿನ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳು ಅಥವಾ ನೀರಿನ ಸುತ್ತಿಗೆ ಘಟನೆಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು.

ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ, ವಿಸ್ತೃತ-ಬಾನೆಟ್ ಗ್ಲೋಬ್ ಕವಾಟಗಳು ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಭಾಗದ ಪ್ರವೇಶ ಬಾಲ್ ಕವಾಟಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ASME B31.3 ಮತ್ತು EN 13480 ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

A ನಿರ್ವಾತ ನಿರೋಧಕ ಹಂತ ವಿಭಾಜಕದ್ರವವು ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾದ ಕೆಳಮುಖ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಪ್ರವೇಶಿಸುವ ಮೊದಲು ಫ್ಲ್ಯಾಶ್ ಅನಿಲವನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅರೆವಾಹಕ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ, ಅಸ್ಥಿರವಾದ ಎರಡು-ಹಂತದ ಹರಿವು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಎಚ್ಚರಿಕೆಗಳು ಅಥವಾ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಇಂಟರ್‌ಲಾಕ್‌ಗಳನ್ನು ಪ್ರಚೋದಿಸುವಷ್ಟು ದೊಡ್ಡ ಒತ್ತಡದ ಏರಿಳಿತಗಳನ್ನು ರಚಿಸಬಹುದು.

ಹೆಚ್ಚಿನ ವಿಭಜಕ ವಿನ್ಯಾಸಗಳು ಆವಿ-ದ್ರವ ವಿಭಜನಾ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಆಂತರಿಕ ಡಿಮಿಸ್ಟರ್ ರಚನೆಯೊಂದಿಗೆ ಸ್ಪರ್ಶಕ ಒಳಹರಿವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ. ಅನೇಕ ಯೋಜನೆಗಳಲ್ಲಿ, ವಿಭಜಕವನ್ನು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನೆಲದ ಬಳಿ ಸ್ಥಾಪಿಸಲಾದ ಮಿನಿ ಟ್ಯಾಂಕ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಮಿನಿ ಟ್ಯಾಂಕ್ ಸ್ಥಳೀಯ ಬಫರ್ ಪರಿಮಾಣವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಗಮನಾರ್ಹವಾದ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಶಾಖದ ಹೊರೆಯನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸದೆ ಅಲ್ಪಾವಧಿಯ ಬೇಡಿಕೆಯ ಏರಿಳಿತಗಳನ್ನು ಸ್ಥಿರಗೊಳಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ರಾಜೆಕ್ಟ್ ಉದಾಹರಣೆ

ದಕ್ಷಿಣ ಕೊರಿಯಾದಲ್ಲಿ DRAM ಸೌಲಭ್ಯ ವಿಸ್ತರಣಾ ಯೋಜನೆಗೆ ಇಮ್ಮರ್ಶನ್-ಕೂಲ್ಡ್ ಪರೀಕ್ಷಾ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವ ಹೊಸ LN₂ ವಿತರಣಾ ಜಾಲದ ಅಗತ್ಯವಿತ್ತು.

ಈ ಅನುಸ್ಥಾಪನೆಯು ಸುಮಾರು 180 ಮೀಟರ್ ಉದ್ದದ ರಿಜಿಡ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಇನ್ಸುಲೇಟೆಡ್ ಪೈಪ್ ಅನ್ನು ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಇನ್ಸುಲೇಟೆಡ್ ಫ್ಲೆಕ್ಸಿಬಲ್ ಮೆದುಗೊಳವೆ ಅಸೆಂಬ್ಲಿಗಳ ಮೂಲಕ ಬಹು ಉಪಕರಣ ಶಾಖೆಗಳಿಗೆ ಸಂಪರ್ಕಿಸಲಾಗಿದೆ. ಬೃಹತ್ ಶೇಖರಣಾ ಪ್ರದೇಶದ ಬಳಿ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಇನ್ಸುಲೇಟೆಡ್ ಫೇಸ್ ಸೆಪರೇಟರ್ ಮತ್ತು 2 m³ ಮಿನಿ ಟ್ಯಾಂಕ್ ಅನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸಲಾಗಿದೆ.

ಡೈನಾಮಿಕ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಮುಖ್ಯ 6-ಇಂಚಿನ ವರ್ಗಾವಣೆ ಮಾರ್ಗಗಳಲ್ಲಿ 5×10⁻⁶ mbar ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಉಂಗುರದ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಂಡಿದೆ.

ಕಾರ್ಯಾರಂಭದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಸ್ಥಿರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಹೆಡರ್‌ನಲ್ಲಿ ಅಳೆಯಲಾದ ಶಾಖ ಸೋರಿಕೆ ಸರಾಸರಿ 1.3 W/m ಆಗಿತ್ತು. ಒಂದು ವರ್ಷದ ನಿರಂತರ ಸೇವೆಯ ನಂತರ, ಆವರ್ತಕ ನಿರ್ವಾತ ಚೇತರಿಕೆ ಚಕ್ರಗಳು ನಿರೋಧನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಮೂಲ ಮೂಲ ಸ್ಥಿತಿಗೆ ಹತ್ತಿರದಲ್ಲಿರಿಸಿದವು.

ಹಿಂದಿನ ಫೋಮ್-ಇನ್ಸುಲೇಟೆಡ್ ಪರಿಕಲ್ಪನೆಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ಸೌಲಭ್ಯವು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ದ್ರವ ಸಾರಜನಕ ನಷ್ಟಗಳು ಮತ್ತು ಸುಧಾರಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ವರದಿ ಮಾಡಿದೆ. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ದಾಖಲೆಗಳು ನಿರೋಧನದ ಅವನತಿಗೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದ ಯಾವುದೇ ತೇವಾಂಶ-ಸಂಬಂಧಿತ ಮಾಲಿನ್ಯ ಘಟನೆಗಳನ್ನು ತೋರಿಸಲಿಲ್ಲ.

ಅರ್ಜಿಗಳನ್ನು

ನಿರ್ವಾತ-ನಿರೋಧಕ ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆ, ಎಲ್‌ಎನ್‌ಜಿ ಮೂಲಸೌಕರ್ಯ, ಕೈಗಾರಿಕಾ ಅನಿಲ ವಿತರಣೆ ಮತ್ತು ದ್ರವ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ಪರಿಸರಗಳು ಭಿನ್ನವಾಗಿದ್ದರೂ, ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ಉದ್ದೇಶ ಒಂದೇ ಆಗಿರುತ್ತದೆ:

• ನಿರ್ವಾತ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಿ
• ಶಾಖದ ಪ್ರವೇಶವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿ
• ವರ್ಗಾವಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ಹಂತದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಿ

ಯೋಜನೆಯ ವ್ಯಾಪ್ತಿ ಮತ್ತು ಪ್ರಾದೇಶಿಕ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿ ಸಿಸ್ಟಮ್ ವಿನ್ಯಾಸವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ASME B31.3, EN 13480, ಮತ್ತು ISO 21029 ನಂತಹ ಅಂತರರಾಷ್ಟ್ರೀಯ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಅನುಸರಿಸುತ್ತದೆ.

ಅರೆವಾಹಕ ಸೌಲಭ್ಯಗಳಿಗೆ, ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯು ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ದಕ್ಷತೆ, ದ್ರವ ಬಳಕೆ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯ ಮೇಲೆ ನೇರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಪೈಪಿಂಗ್, ಕವಾಟಗಳು, ವಿಭಜಕಗಳು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ನಿರ್ವಹಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ಸ್ವತಂತ್ರ ಘಟಕಗಳಿಗಿಂತ ಒಂದು ಸಂಯೋಜಿತ ಉಷ್ಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಬೇಕು.

At ಎಚ್‌ಎಲ್ ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ಸ್, ನಾವು EPC ಗುತ್ತಿಗೆದಾರರು, ಅನಿಲ ಕಂಪನಿಗಳು ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಸೌಲಭ್ಯಗಳೊಂದಿಗೆ ಕೆಲಸ ಮಾಡಿ, ಪ್ರಮಾಣಿತ ಕ್ಯಾಟಲಾಗ್ ಸಂರಚನೆಗಳ ಬದಲಿಗೆ ನಿಜವಾದ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳು, ಉಷ್ಣ ಲೋಡ್ ಗುರಿಗಳು ಮತ್ತು ಅನುಸ್ಥಾಪನಾ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸುತ್ತೇವೆ.

ನೀವು ಹೊಸ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಫ್ಯಾಬ್ ಯೋಜನೆಯನ್ನು ಯೋಜಿಸುತ್ತಿದ್ದರೆ ಅಥವಾ ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿರುವ LN₂ ವಿತರಣಾ ಜಾಲವನ್ನು ನವೀಕರಿಸುತ್ತಿದ್ದರೆ, ನಮ್ಮ ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ತಂಡವು ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಾಗಿ ಶಾಖ ಸೋರಿಕೆ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ, ನಿರ್ವಾತ ತಂತ್ರ ಮತ್ತು ಸಿಸ್ಟಮ್ ಕಾನ್ಫಿಗರೇಶನ್ ಅನ್ನು ಮೌಲ್ಯಮಾಪನ ಮಾಡಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.