ದ್ರವ ಸಾರಜನಕ ತಂಪಾಗಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು ಚಿಪ್ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಸೇರಿದಂತೆ,
- ಆಣ್ವಿಕ ಕಿರಣದ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ (ಎಂಬಿಇ) ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ
- COB ಪ್ಯಾಕೇಜ್ ನಂತರ ಚಿಪ್‌ನ ಪರೀಕ್ಷೆ
ಸಂಬಂಧಿತ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು
ನಿರ್ವಾತ ಇನ್ಸುಲೇಟೆಡ್ ಪೈಪ್ ಸರಣಿ
ನಿರ್ವಾತ ನಿರೋಧನ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಮೆದುಗೊಳವೆ ಸರಣಿ
ಡೈನಾಮಿಕ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆ
ನಿರ್ವಾತ ನಿರೋಧಕ ಹಂತ ವಿಭಜಕ ಸರಣಿ
ನಿರ್ವಾತ ಇನ್ಸುಲೇಟೆಡ್ ವಾಲ್ವ್ ಸರಣಿ
ಪೈಪಿಂಗ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಬೆಂಬಲ ಸಾಧನಗಳು
ಆಣ್ವಿಕ ಕಿರಣದ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ
ನಿರ್ವಾತ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಅರೆವಾಹಕ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು 1950 ರ ದಶಕದಲ್ಲಿ ಆಣ್ವಿಕ ಕಿರಣದ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ (ಎಂಬಿಇ) ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲಾಯಿತು. ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯೊಂದಿಗೆ, ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಅನ್ವಯವನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ ವಿಜ್ಞಾನ ಕ್ಷೇತ್ರಕ್ಕೆ ವಿಸ್ತರಿಸಲಾಗಿದೆ.
ಎಂಬಿಇ ಲಿಕ್ವಿಡ್ ಸಾರಜನಕ ಕೂಲಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಬೇಡಿಕೆಯನ್ನು ಎಚ್‌ಎಲ್ ಗಮನಿಸಿದೆ, ಎಂಬಿಇ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಕ್ಕಾಗಿ ವಿಶೇಷ ಎಂಬಿಇ ದ್ರವ ಸಾರಜನಕ ಕೂಯಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಯಶಸ್ವಿಯಾಗಿ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲು ಸಂಘಟಿತ ತಾಂತ್ರಿಕ ಬೆನ್ನೆಲುಬು ಮತ್ತು ಅನೇಕ ಉದ್ಯಮಗಳು, ವಿಶ್ವವಿದ್ಯಾಲಯಗಳು ಮತ್ತು ಸಂಶೋಧನಾ ಸಂಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಸಂಪೂರ್ಣ ನಿರ್ವಾತ ನಿರೋಧಕ ಪೈಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಬಳಸಲಾಗಿದೆ .
ಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು ಚಿಪ್ ಉದ್ಯಮದ ಸಾಮಾನ್ಯ ಸಮಸ್ಯೆಗಳು ಸೇರಿವೆ,
- ಟರ್ಮಿನಲ್ (ಎಂಬಿಇ) ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ದ್ರವ ಸಾರಜನಕದ ಒತ್ತಡ. ಟರ್ಮಿನಲ್ (ಎಂಬಿಇ) ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಹಾನಿಯಾಗದಂತೆ ಒತ್ತಡದ ಓವರ್‌ಲೋಡ್ ಅನ್ನು ತಡೆಯಿರಿ.
- ಬಹು ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ದ್ರವ ಒಳಹರಿವು ಮತ್ತು let ಟ್‌ಲೆಟ್ ನಿಯಂತ್ರಣಗಳು
- ದ್ರವ ಸಾರಜನಕದ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಟರ್ಮಿನಲ್ ಸಾಧನಗಳಾಗಿ
- ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ಅನಿಲ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆಯ ಸಮಂಜಸವಾದ ಪ್ರಮಾಣ
- (ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ) ಮುಖ್ಯ ಮತ್ತು ಶಾಖೆಯ ರೇಖೆಗಳ ಬದಲಾಯಿಸುವುದು
- ಒತ್ತಡ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ (ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು) ಮತ್ತು ವಿಐಪಿಯ ಸ್ಥಿರತೆ
- ಟ್ಯಾಂಕ್‌ನಿಂದ ಸಂಭವನೀಯ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಮತ್ತು ಐಸ್ ಶೇಷವನ್ನು ಸ್ವಚ್ aning ಗೊಳಿಸುವುದು
- ಟರ್ಮಿನಲ್ ದ್ರವ ಸಾಧನಗಳ ಸಮಯವನ್ನು ಭರ್ತಿ ಮಾಡುವುದು
- ಪೈಪ್‌ಲೈನ್ ಪೂರ್ವಭಾವಿ
- ವಿಐಪಿ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿ ದ್ರವ ಪ್ರತಿರೋಧ
- ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಸ್ಥಗಿತ ಸೇವೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ದ್ರವ ಸಾರಜನಕವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಿ
ಎಚ್‌ಎಲ್‌ನ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಇನ್ಸುಲೇಟೆಡ್ ಪೈಪ್ (ವಿಐಪಿ) ಅನ್ನು ಎಎಸ್ಎಂಇ ಬಿ 31.3 ಪ್ರೆಶರ್ ಪೈಪಿಂಗ್ ಕೋಡ್‌ಗೆ ಮಾನದಂಡವಾಗಿ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿದೆ. ಗ್ರಾಹಕರ ಸಸ್ಯದ ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ವೆಚ್ಚ-ಪರಿಣಾಮಕಾರಿತ್ವವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವ ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ಅನುಭವ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟದ ನಿಯಂತ್ರಣ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ.
ಪರಿಹಾರ
ಎಚ್‌ಎಲ್ ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ಉಪಕರಣಗಳು ಗ್ರಾಹಕರಿಗೆ ಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು ಚಿಪ್ ಉದ್ಯಮದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ಮತ್ತು ಷರತ್ತುಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ನಿರ್ವಾತ ನಿರೋಧಕ ಪೈಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ:
1.ಕೂಲಿಟಿ ಮ್ಯಾನೇಜ್ಮೆಂಟ್ ಸಿಸ್ಟಮ್: ಎಎಸ್ಎಂಇ ಬಿ 31.3 ಪ್ರೆಶರ್ ಪೈಪಿಂಗ್ ಕೋಡ್.
.
3. ಟರ್ಮಿನಲ್ ಉಪಕರಣಗಳು ಯಾವಾಗಲೂ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಿದ ಒತ್ತಡದ ಮೌಲ್ಯದಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ ಎಂದು ಆಡ್ವೆಕ್ಟೇಟ್ ಮತ್ತು ಸಮಯೋಚಿತ ನಿಷ್ಕಾಸ ವಿನ್ಯಾಸವು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
4. ಅನಿಲ-ದ್ರವ ತಡೆಗೋಡೆ VI ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ನ ಕೊನೆಯಲ್ಲಿ ಲಂಬ VI ಪೈಪ್‌ನಲ್ಲಿ ಇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. VI ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ನ ಅಂತ್ಯದಿಂದ VI ಪೈಪಿಂಗ್‌ಗೆ ಶಾಖವನ್ನು ನಿರ್ಬಂಧಿಸಲು ಅನಿಲ-ದ್ರವ ತಡೆಗೋಡೆ ಅನಿಲ ಸೀಲ್ ತತ್ವವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಸ್ಥಗಿತ ಮತ್ತು ಮಧ್ಯಂತರ ಸೇವೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ದ್ರವ ಸಾರಜನಕದ ನಷ್ಟವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
. ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಆನ್-ಸೈಟ್ ಇನ್ಸುಲೇಟೆಡ್ ಚಿಕಿತ್ಸೆಯಿಲ್ಲದೆ, ವಿಐವಿ ತಯಾರಕರಲ್ಲಿ ವಿಐಪಿ ಪೂರ್ವನಿರ್ಮಿತತೆಯೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ. ವಿಐವಿಯ ಸೀಲ್ ಘಟಕವನ್ನು ಸುಲಭವಾಗಿ ಬದಲಾಯಿಸಬಹುದು. .
6. ಕ್ಲೀನ್‌ನೆಸ್, ಆಂತರಿಕ ಟ್ಯೂಬ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಸ್ವಚ್ iness ತೆಗೆ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿದ್ದರೆ. ಸ್ಟೇನ್ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಸೋರಿಕೆಯನ್ನು ಮತ್ತಷ್ಟು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಗ್ರಾಹಕರು ಬಿಎ ಅಥವಾ ಇಪಿ ಸ್ಟೇನ್ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು ವಿಐಪಿ ಒಳ ಪೈಪ್‌ಗಳಾಗಿ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಬೇಕೆಂದು ಸೂಚಿಸಲಾಗಿದೆ.
.
8. ಕೆಲವು ದಿನಗಳು ಅಥವಾ ಅದಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಗಿತಗೊಳಿಸುವ ಅಥವಾ ನಿರ್ವಹಣೆಯ ನಂತರ, ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ದ್ರವವನ್ನು ಪ್ರವೇಶಿಸುವ ಮೊದಲು VI ಪೈಪಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಟರ್ಮಿನಲ್ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಪೂರ್ವಭಾವಿಯಾಗಿ ಮಾಡುವುದು ಬಹಳ ಅವಶ್ಯಕ, ಆದ್ದರಿಂದ ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ದ್ರವವು ನೇರವಾಗಿ VI ಪೈಪಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಟರ್ಮಿನಲ್ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಪ್ರವೇಶಿಸಿದ ನಂತರ ಐಸ್ ಸ್ಲ್ಯಾಗ್ ಅನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು. ಪೂರ್ವಭಾವಿ ಕಾರ್ಯವನ್ನು ವಿನ್ಯಾಸದಲ್ಲಿ ಪರಿಗಣಿಸಬೇಕು. ಇದು ಟರ್ಮಿನಲ್ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು VI ಪೈಪಿಂಗ್ ಬೆಂಬಲ ಸಾಧನಗಳಾದ ಕವಾಟಗಳಿಗೆ ಉತ್ತಮ ರಕ್ಷಣೆ ನೀಡುತ್ತದೆ.
9. ಡೈನಾಮಿಕ್ ಮತ್ತು ಸ್ಟ್ಯಾಟಿಕ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಇನ್ಸುಲೇಟೆಡ್ (ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ) ಪೈಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗೆ ಸೂಟ್.
. ). ಏಕ VI ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಮೆದುಗೊಳವೆ ಉದ್ದವನ್ನು ಬಳಕೆದಾರರ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದು.
11. ವೈರಸ್ ಸಂಪರ್ಕ ಪ್ರಕಾರಗಳು: ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಬಯೋನೆಟ್ ಸಂಪರ್ಕ (ವಿಬಿಸಿ) ಪ್ರಕಾರ ಮತ್ತು ಬೆಸುಗೆ ಹಾಕಿದ ಸಂಪರ್ಕವನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಬಹುದು. ವಿಬಿಸಿ ಪ್ರಕಾರಕ್ಕೆ ಆನ್-ಸೈಟ್ ಇನ್ಸುಲೇಟೆಡ್ ಚಿಕಿತ್ಸೆಯ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲ.
