ಆಣ್ವಿಕ ಕಿರಣದ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ, ಅಥವಾ ಎಂಬಿಇ, ಸ್ಫಟಿಕ ತಲಾಧಾರಗಳಲ್ಲಿ ಹರಳುಗಳ ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ತೆಳುವಾದ ಚಲನಚಿತ್ರಗಳನ್ನು ಬೆಳೆಸುವ ಹೊಸ ತಂತ್ರವಾಗಿದೆ. ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ, ತಾಪನ ಒಲೆ ಎಲ್ಲಾ ರೀತಿಯ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು, ಕಿರಣದ ಪರಮಾಣು ಅಥವಾ ಆಣ್ವಿಕ ಕಿರಣವನ್ನು ಘರ್ಷಿಸಿದ ನಂತರ ರೂಪುಗೊಂಡ ರಂಧ್ರಗಳ ಮೂಲಕ, ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕದ ತಲಾಧಾರದ ಸೂಕ್ತ ತಾಪಮಾನಕ್ಕೆ ನೇರ ಚುಚ್ಚುಮದ್ದು, ಆಣ್ವಿಕ ಕಿರಣವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುತ್ತದೆ ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ತಲಾಧಾರ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್, ಇದು ಸ್ಫಟಿಕ ಜೋಡಣೆ ಪದರಗಳಲ್ಲಿನ ಅಣುಗಳು ಅಥವಾ ಪರಮಾಣುಗಳನ್ನು "ಬೆಳವಣಿಗೆ" ಎಂಬ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ.

ಎಂಬಿಇ ಉಪಕರಣಗಳ ಸಾಮಾನ್ಯ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಾಗಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ, ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಕ್ಲೀನ್ ದ್ರವ ಸಾರಜನಕವನ್ನು ನಿರಂತರವಾಗಿ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾಗಿ ಸಲಕರಣೆಗಳ ತಂಪಾಗಿಸುವ ಕೋಣೆಗೆ ಸಾಗಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ದ್ರವ ಸಾರಜನಕವನ್ನು ಒದಗಿಸುವ ಒಂದು ಟ್ಯಾಂಕ್ 0.3 ಎಂಪಿಎ ಮತ್ತು 0.8 ಎಂಪಿಎ ನಡುವೆ -196 at ನಲ್ಲಿ 0.8 ಎಂಪಿಎ. ಸುಮಾರು 1: 700 ರ ಅನಿಲ-ದ್ರವ ಅನುಪಾತವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ದ್ರವ ಸಾರಜನಕವನ್ನು ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ನಲ್ಲಿ ಅನಿಲೀಕರಿಸಿದ ನಂತರ, ಅದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದ ದ್ರವ ಸಾರಜನಕ ಹರಿವಿನ ಜಾಗವನ್ನು ಆಕ್ರಮಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ದ್ರವ ಸಾರಜನಕ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ನ ಕೊನೆಯಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯ ಹರಿವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಇದಲ್ಲದೆ, ದ್ರವ ಸಾರಜನಕ ಶೇಖರಣಾ ತೊಟ್ಟಿಯಲ್ಲಿ, ಸ್ವಚ್ ed ಗೊಳಿಸದ ಅವಶೇಷಗಳು ಇರುವ ಸಾಧ್ಯತೆಯಿದೆ. ದ್ರವ ಸಾರಜನಕ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ನಲ್ಲಿ, ಆರ್ದ್ರ ಗಾಳಿಯ ಅಸ್ತಿತ್ವವು ಐಸ್ ಸ್ಲ್ಯಾಗ್ ಪೀಳಿಗೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಸಲಕರಣೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡಿದರೆ, ಅದು ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಅನಿರೀಕ್ಷಿತ ಹಾನಿಯನ್ನುಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಆದ್ದರಿಂದ, ಹೊರಾಂಗಣ ಶೇಖರಣಾ ತೊಟ್ಟಿಯಲ್ಲಿನ ದ್ರವ ಸಾರಜನಕವನ್ನು ಧೂಳು ಮುಕ್ತ ಕಾರ್ಯಾಗಾರದಲ್ಲಿ ಎಂಬಿಇ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆ, ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ವಚ್ clean ವೊಂದಿಗೆ ಸಾಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡ, ಸಾರಜನಕವಿಲ್ಲ, ಕಲ್ಮಶಗಳಿಲ್ಲ, 24 ಗಂಟೆಗಳ ತಡೆರಹಿತ, ಅಂತಹ ಸಾರಿಗೆ ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆ ಅರ್ಹ ಉತ್ಪನ್ನ.