ಆಣ್ವಿಕ ಕಿರಣದ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಅಥವಾ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ನಿರ್ವಾತದಲ್ಲಿ (1 x 10) ನಡೆಸಲಾಯಿತು^-8ಪಾ) ಪರಿಸರಆಣ್ವಿಕ ಕಿರಣದ ಎಪಿಟ್ಯಾಕ್ಸಿಯ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶವೆಂದರೆ ಅದರ ಕಡಿಮೆ ಠೇವಣಿ ದರ, ಇದು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರತಿ ಗಂಟೆಗೆ 3000 nm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ದರದಲ್ಲಿ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಗೆ ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ.ಅಂತಹ ಕಡಿಮೆ ಠೇವಣಿ ದರವು ಇತರ ಠೇವಣಿ ವಿಧಾನಗಳಂತೆಯೇ ಅದೇ ಮಟ್ಟದ ಶುಚಿತ್ವವನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಸಾಕಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತದ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ.

ಮೇಲೆ ವಿವರಿಸಿದ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ಪೂರೈಸಲು, MBE ಸಾಧನ (Knudsen ಕೋಶ) ತಂಪಾಗಿಸುವ ಪದರವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಮತ್ತು ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಕೊಠಡಿಯ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರವನ್ನು ದ್ರವ ಸಾರಜನಕ ಪರಿಚಲನೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ನಿರ್ವಹಿಸಬೇಕು.ದ್ರವ ಸಾರಜನಕವು ಸಾಧನದ ಆಂತರಿಕ ತಾಪಮಾನವನ್ನು 77 ಕೆಲ್ವಿನ್ (−196 °C) ಗೆ ತಂಪಾಗಿಸುತ್ತದೆ.ಕಡಿಮೆ ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸರವು ನಿರ್ವಾತದಲ್ಲಿನ ಕಲ್ಮಶಗಳ ವಿಷಯವನ್ನು ಮತ್ತಷ್ಟು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳ ಶೇಖರಣೆಗೆ ಉತ್ತಮ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.ಆದ್ದರಿಂದ, MBE ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ -196 °C ದ್ರವ ಸಾರಜನಕದ ನಿರಂತರ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರ ಪೂರೈಕೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ಮೀಸಲಾದ ದ್ರವ ಸಾರಜನಕ ತಂಪಾಗಿಸುವ ಪರಿಚಲನೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಅಗತ್ಯವಿದೆ.